溅射参数对单层AZO和多层AZOCuAZO薄膜性能的影响研究

目录4.3.3溅射功率对AZO/Cw/AZ0多层薄膜的表面形貌影响254.3.4溅射功率对AZ0CuAZ0多层薄膜的电学性能的影响.254.4溅射压强对AZO/CAZ0多层薄膜光电性能的影响.274.4.1溅射压强对AZO/CuAZ0多层薄膜光学性能的影响.274.4.2溅射压强对AZ0/CAZ0多层薄膜结晶质量的影响..284.4.3溅射压强对AZO/CuAZ0多层薄膜电学性能的影响.304.5本章小结.….31第五章结论.32结束语….34致谢…35作者在学术期间取得的学术成果36参考文献372