晶圆传输机器人振动分析与轨迹控制

X大学工学硕士学位论文（附录）第1部分模型验证与评估1.1初始条件确定本部分将根据动力学推导公式，利用MATLAB进行动力学计算，然后与ADAMS仿真进行对比。首先确定模型中各已知条件。机器人模型中各已知量见表1-1所示表11机器人模型已知量坐标系参数杆件参数杆件id,(mm)L,(mm)1,(mm)m,(kg)I (kg'm)00a24.0701169.37.5600257.807.75.56228.02×1023284.518542.11.70591.66×10244.318519.81.37121.08×102547.829001.19851.28×102机器人初始位置，大臂、小臂、末端手均与前一杆件的Z轴成120°。即：a=B=y=2π(1-1)3设定三个电机加速度曲线，如图1-1所示。R轴加速度曲线200-200020时间(s)T轴加速度曲线4S000450051520时间(s)Z轴加速度曲线4004000015时间(s)图11三个电机加速度曲线根据以上条件，编写MATLAB算法程序，同时利用ADAMS建立虚拟样机，-1-