金刚石抛光机的结构设计

北京航空航天大学博士学位论文仅存在金刚石与铁盘之间渗碳的过程，而且还有金刚石表面的硬质点划削作用，抛光过程是一个包括化学反应和机械摩擦的综合，其中硬质点的划削作用在粗抛过程中比较明显，在精抛过程中应注意避免和消除其不利影响。关键词：CVD金刚石，热铁盘法，球面抛光，结构设计，工艺研究