氧化锌薄膜的制备工艺及光电性能研究

目录中文摘要.…1英文摘要..21绪论..31.】氧化锌的基本性质31.2氧化锌的制备工艺概述31.3氧化锌薄膜的应用.61.4本文的研究思路与主要内容.72氧化锌薄膜的制备及光电性能研究.82.1溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜82.1.1原理及工艺流程...2.12实验过程..2.2.1提拉速度对氧化锌薄膜的影响102.2.2退火温度对氧化锌薄膜的影响112.2.3前驱物浓度对氧化锌薄膜的影响132.3氧化锌薄膜光电性能分析143结尾与展望.…。17参考文献..18蚌埠学院本科毕业设计（论文）氧化锌薄膜的制备工艺及光电性能研究摘要：本文介绍了制备氧化锌薄膜的基本性质和其几种制备方法如：本溶胶凝胶法、化学气相沉积法、分子束外延法、磁控溅射法、溶剂热法和脉冲激光法等。采用溶胶一凝胶法制备氧化锌(ZO)薄膜所选用的衬底为TO导电玻璃衬底，研究不同工艺参数对薄膜的影响并研究退火温度对光学性能和电学性能的影响。关键字：氧化锌薄膜：工艺参数：退火温度：光学透过率