摘要本文综述了数字无掩模光刻技术、激光直写技术、电子束光刻和激光干涉光刻技术的发展状况，并探讨了其原理、发展成果和在制造加工领域的重要性。相比传统的有掩模光刻技术，无掩模光刻技术无...